DRK8090 ಫೋಟೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಪ್ರೊಫೈಲರ್

ಈ ಉಪಕರಣವು ಸಂಪರ್ಕ-ಅಲ್ಲದ, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಹಂತ-ಶಿಫ್ಟಿಂಗ್ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೆಟ್ರಿಕ್ ಮಾಪನ ವಿಧಾನವನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಂಡಿದೆ, ಮಾಪನದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಹಾನಿಗೊಳಿಸುವುದಿಲ್ಲ, ವಿವಿಧ ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ಗಳ ಮೇಲ್ಮೈ ಮೈಕ್ರೋ-ಟೋಪೋಗ್ರಫಿಯ ಮೂರು ಆಯಾಮದ ಗ್ರಾಫಿಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ತ್ವರಿತವಾಗಿ ಅಳೆಯಬಹುದು ಮತ್ತು ಮಾಪನವನ್ನು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸಿ ಮತ್ತು ಲೆಕ್ಕಾಚಾರ ಮಾಡಬಹುದು. ಫಲಿತಾಂಶಗಳು.

ಉತ್ಪನ್ನ ವಿವರಣೆ
ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು: ವಿವಿಧ ಗೇಜ್ ಬ್ಲಾಕ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಭಾಗಗಳ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನವನ್ನು ಅಳೆಯಲು ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ; ಆಡಳಿತಗಾರ ಮತ್ತು ಡಯಲ್ನ ರೆಟಿಕಲ್ನ ಆಳ; ಗ್ರ್ಯಾಟಿಂಗ್ ಗ್ರೂವ್ ರಚನೆಯ ಲೇಪನದ ದಪ್ಪ ಮತ್ತು ಲೇಪನ ಗಡಿಯ ರಚನೆಯ ರೂಪವಿಜ್ಞಾನ; ಕಾಂತೀಯ (ಆಪ್ಟಿಕಲ್) ಡಿಸ್ಕ್ನ ಮೇಲ್ಮೈ ಮತ್ತು ಕಾಂತೀಯ ತಲೆಯ ರಚನೆಯ ಮಾಪನ; ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ ಮತ್ತು ಮಾದರಿ ರಚನೆ ಮಾಪನ, ಇತ್ಯಾದಿ.
ಉಪಕರಣದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಮಾಪನ ನಿಖರತೆಯಿಂದಾಗಿ, ಇದು ಸಂಪರ್ಕ-ಅಲ್ಲದ ಮತ್ತು ಮೂರು ಆಯಾಮದ ಮಾಪನದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಮತ್ತು ಕಂಪ್ಯೂಟರ್ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು ಕ್ಷಿಪ್ರ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ಮತ್ತು ಮಾಪನ ಫಲಿತಾಂಶಗಳ ಲೆಕ್ಕಾಚಾರವನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಈ ಉಪಕರಣವು ಎಲ್ಲಾ ಹಂತದ ಪರೀಕ್ಷೆ ಮತ್ತು ಮಾಪನ ಸಂಶೋಧನಾ ಘಟಕಗಳು, ಕೈಗಾರಿಕಾ ಮತ್ತು ಗಣಿಗಾರಿಕೆ ಉದ್ಯಮ ಮಾಪನ ಕೊಠಡಿಗಳು, ನಿಖರವಾದ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಕಾರ್ಯಾಗಾರಗಳು ಮತ್ತು ಉನ್ನತ ಶಿಕ್ಷಣ ಸಂಸ್ಥೆಗಳು ಮತ್ತು ವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಸಂಶೋಧನಾ ಸಂಸ್ಥೆಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
ಮುಖ್ಯ ತಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳು
ಮೇಲ್ಮೈ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಅಸಮಾನತೆಯ ಆಳದ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯನ್ನು ಅಳೆಯುವುದು
ನಿರಂತರ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ, ಎರಡು ಪಕ್ಕದ ಪಿಕ್ಸೆಲ್‌ಗಳ ನಡುವೆ 1/4 ತರಂಗಾಂತರಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಎತ್ತರದ ಹಠಾತ್ ಬದಲಾವಣೆ: 1000-1nm
ಎರಡು ಪಕ್ಕದ ಪಿಕ್ಸೆಲ್‌ಗಳ ನಡುವೆ ತರಂಗಾಂತರದ 1/4 ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಎತ್ತರದ ರೂಪಾಂತರವು ಇದ್ದಾಗ: 130-1nm
ಮಾಪನದ ಪುನರಾವರ್ತನೆ: δRa ≤0.5nm
ಆಬ್ಜೆಕ್ಟಿವ್ ಲೆನ್ಸ್ ವರ್ಧನೆ: 40X
ಸಂಖ್ಯಾತ್ಮಕ ದ್ಯುತಿರಂಧ್ರ: Φ 65
ಕೆಲಸದ ಅಂತರ: 0.5mm
ಇನ್ಸ್ಟ್ರುಮೆಂಟ್ ಫೀಲ್ಡ್ ಆಫ್ ವ್ಯೂ ವಿಷುಯಲ್: Φ0.25mm
ಛಾಯಾಚಿತ್ರ: 0.13×0.13mm
ವಾದ್ಯ ವರ್ಧನೆ ದೃಶ್ಯ: 500×
ಛಾಯಾಚಿತ್ರ (ಕಂಪ್ಯೂಟರ್ ಪರದೆಯಿಂದ ವೀಕ್ಷಿಸಲಾಗಿದೆ)-2500×
ರಿಸೀವರ್ ಮಾಪನ ಶ್ರೇಣಿ: 1000X1000
ಪಿಕ್ಸೆಲ್ ಗಾತ್ರ: 5.2×5.2µm
ಮಾಪನ ಸಮಯ ಮಾದರಿ (ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್) ಸಮಯ: 1S
ವಾದ್ಯ ಪ್ರಮಾಣಿತ ಕನ್ನಡಿ ಪ್ರತಿಫಲನ (ಹೆಚ್ಚು): ～50%
ಪ್ರತಿಫಲನ (ಕಡಿಮೆ): ～4%
ಬೆಳಕಿನ ಮೂಲ: ಪ್ರಕಾಶಮಾನ ದೀಪ 6V 5W
ಹಸಿರು ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪ ಫಿಲ್ಟರ್ ತರಂಗಾಂತರ: λ≒530nm
ಅರ್ಧ ಅಗಲ λ≒10nm
ಮುಖ್ಯ ಸೂಕ್ಷ್ಮದರ್ಶಕ ಲಿಫ್ಟ್: 110 ಮಿಮೀ
ಟೇಬಲ್ ಲಿಫ್ಟ್: 5 ಮಿಮೀ
X ಮತ್ತು Y ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ಚಲನೆಯ ವ್ಯಾಪ್ತಿ: ～10 mm
ವರ್ಕ್‌ಟೇಬಲ್‌ನ ತಿರುಗುವಿಕೆಯ ಶ್ರೇಣಿ: 360°
ವರ್ಕಿಂಗ್ ಟೇಬಲ್‌ನ ಟಿಲ್ಟ್ ಶ್ರೇಣಿ: ±6°
ಕಂಪ್ಯೂಟರ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆ: P4, 2.8G ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚು, 1G ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ಮೆಮೊರಿಯೊಂದಿಗೆ 17-ಇಂಚಿನ ಫ್ಲಾಟ್-ಸ್ಕ್ರೀನ್ ಡಿಸ್ಪ್ಲೇ